Статья

Название статьи ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ ПЛЕНОК НАНОРАЗМЕРНОГО МАТЕРИАЛА SiO2SnOx, ПОЛУЧЕННОГО ЗОЛЬ-ГЕЛЬ МЕТОДОМ
Автор В.В. Петров, Н.К. Плуготаренко, А.А. Вороной
Рубрика РАЗДЕЛ 3. ЭЛЕКТРОНИКА, РАДИОЭЛЕКТРОНИКА, НАНОТЕХНОЛОГИИ
Месяц, год 01, 2012
Индекс УДК 539.217.5:546.28
DOI
Аннотация Изучены особенности формирования золь-гель методом тонких пленок газочувствительного материала состава SiO2SnOx. Установлено, что для пленок, полученных из золей с температурой его формирования 30 0С, при увеличении в золе соотношения ТЭОС/SnCl4 количество выступов уменьшается, и образуются поры, количество которых возрастает. Показано, что поверхности пленок, сформированных из золей, которые были приготовлены, созревали и хранились при 10 0С, показали отсутствие пор на поверхности вне зависимости от температуры отжига. Определено, что для пленок, полученных по такой технологии, с увеличением температуры отжига при неизменном соотношении ТЭОС/SnCl4, высота выступов увеличивается. Все образцы имеют поверхность с равномерно распределенными выступами.

Скачать в PDF

Ключевые слова Золь-гель метод; газочувствительный материал; морфология поверхности пленки.
Библиографический список 1. Петров В.В., Королев А.Н. Наноразмерные оксидные материалы для сенсоров газов. – Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2008. – 153 с.
2. Шилова О.А. Силикатные наноразмерные пленки, получаемые золь-гель методом, для планарной технологии изготовления полупроводниковых газовых сенсоров // Физика и
химия стекла. – 2005. – Т. 31, № 2. – С. 270-293.
3. Плуготаренко Н.К., Королев А.Н., Петров В.В., Назарова Т.Н. Влияние состава золей, получаемых из водно-спиртовых растворов тетраэтоксисилана и SnCl4, на морфологию
поверхности формируемых из них пленок // Неорганические материалы. – 2007. – № 7. – С. 1-5.
4. Петров В.В., Назарова Т.Н., Копылова Н.Ф., Заблуда О.В., Кисилев И., Брунс М. Исследование физико-химических и электрофизических свойств, газочувствительных характеристик нанокомпозитных пленок состава SiO2-SnOx-CuOy // Нано- и микросистемная техника. – 2010. – № 8. – С. 15-21.
5. Горшков В.С., Савельев В.Г., Ведоров Н.Ф. Физическая химия силикатов и других тугоплавких соединений. – М.: Высш. шк., 1988. – 400 с.

Comments are closed.