Статья

Название статьи МИКРО- И НАНОМЕХАНИЧЕСКИЕ ЗЕРКАЛА ДЛЯ ЛАБОРАТОРИЙ-НА-КРИСТАЛЛЕ
Автор И.Е. Лысенко, А.М. Россихин
Рубрика РАЗДЕЛ V. КРАТКИЕ СООБЩЕНИЯ
Месяц, год 10, 2009
Индекс УДК 621.3.049.77
DOI
Аннотация Описана интегральная конструкция микромеханического зеркала с электростатической активацией. Разработана математическая модель упругого подвеса зеркального элемента.

Скачать в PDF

Ключевые слова Конструкция; микрооптикоэлектромеханические системы; зеркала; лаборатории- на-кристалле.
Библиографический список

Comments are closed.