Статья

Название статьи РАЗРАБОТКА ДАТЧИКА ДИНАМИЧЕСКИХ ДЕФОРМАЦИЙ НА ОСНОВЕ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ЦИРКОНАТА-ТИТАНАТА СВИНЦА
Автор Д.А. Коваленко, В.В. Петров, В.Г. Клиндухов
Рубрика РАЗДЕЛ III. ИНФОРМАЦИОННЫЕ СИСТЕМЫ, ПРИБОРЫ И УСТРОЙСТВА
Месяц, год 04, 2014
Индекс УДК 531.768
DOI
Аннотация Работа включает в себя комплексное исследование сегнетоэлектрических пленок ЦТС на кремниевых подложках, полученных высокочастотным реактивным распылением. Определены оптимальные параметры напыления. Проведены структурные и электрофизические исследования, которые показали зависимости структурных и электрофизических параметров образцов от технологических параметров напыления. Рост толщин пленок зависит от времени напыления и составляет 600 ± 60 нм/ч. Значения емкостей полученных образцов лежат в диапазоне 200–2000 пФ, а диапазон поляризаций образцов лежит в пределах 0,06 – 24 мкКл/см2. Значения рассчитанных пьезомодулей лежали в диапазоне 0,04x10-12 – 140x10-12Кл/Н. Сформированы макеты сенсорных элементов и исследовано влияние на них динамических деформаций. Результаты исследований показали, что варьируя структурными параметрами сенсорного элемента датчика динамических деформаций на основе сегнетоэлектрических пленок ЦТС, можно оптимально подбирать диапазон чувствительности. На основе созданных сенсорных конструкций собран рабочий макет датчика вибрации и ускорения.

Скачать в PDF

Ключевые слова Сегнетоэлектрик; высокочастотное реактивное распыление; сенсорный элемент; датчик динамических деформаций; структурные исследования; электрофизические исследования; пьезомодуль; поляризация.
Библиографический список 1. Мухортов В.М., Юзюк Ю.И. Гетероструктуры на основе наноразмерных сегнетоэлектрических пленок: получение, свойства и применение. – Ростов-на-Дону: Изд-во ЮНЦ РАН, 2008. – 224 с.
2. Лайнс М., Гласе А. Сегнетоэлектрики и родственные им материалы. – М.: Мир, 1998. – 736 с.
3. Печерская Е.А., Метальников А.М., Вареник Ю.А., Бобошко А.В. Метод измерения тока переключения и диэлектрических параметров сегнетоэлектриков // Нано- и микросистемная техника. – 2012. – № 1. – С. 24-26.
4. Земляков В.Л. Методы и средства измерений в пьезоэлектрическом приборостроении: Монография. – Ростов-на-Дону: Изд-во ЮФУ, 2009. – 180 с.

Comments are closed.