Найти

Результаты поиска

• ЛОГИЧЕСКАЯ ЯЧЕЙКА ДЛЯ СБИС НА ОСНОВЕ ПОЛЕВЫХ ТРАНЗИСТОРОВ С P-N-ПЕРЕХОДАМИ

  П.Г. Грицаенко , Л. А. Светличная

  97-106

  2025-08-01

  Аннотация ▼

  В 80-е годы прошлого столетия в качестве элементной базы широко применялась
  интегральная инжекционная логика (И2Л) Несколько позднее в развитие возможностей
  И2Л для построения СБИС появилась инжекционно-полевая логика (ИПЛ). Благодаря при-
  менению в качестве ключевого элемента инвертора полевого транзистора, в данном эле-
  ментном базисе удалось существенно сократить важный для СБИС показатель – потреб-
  ляемую мощность – достигнув пиковаттного диапазона. Еще большее снижение потреб-
  ляемой мощности может быть достигнуто использованием в элементарной ячейке ин-
  вертора двух полевых транзисторов, которое предлагается в настоящей работе. Данный
  элементный базис предложено называть полевой-полевой логикой, или в дальнейшем П2Л.
  Для снижения габаритов П2Л-ячейки полевые транзисторы, как ключевой, так и нагрузоч-
  ный, выполнены с вертикальным каналом. Кроме того, для обеспечения положительного
  напряжения питания в качестве ключевого используется n-канальный транзистор, в каче-
  стве нагрузочного – p-канальный транзистор. Оба транзистора являются нормально за-
  крытыми, т.е. закрыты при нулевом напряжении на затворе каждого из них. Рассмотре-
  ны топологические варианты выполнения П2Л-ячейки от геометрии с кольцевыми затво-
  рами до геометрии с линейными затворами. Топологическими нормами, принятыми в рас-
  смотрении, являются нормы 50 нм. Потребляемая мощность в данном элементном базисе
  снижена по сравнению с ИПЛ примерно в два раза, благодаря тому, что ток через нагру-
  зочные транзисторы, так же, как и через ключевые, в цепочке инверторов протекает че-
  рез один инвертор. Рассмотрен технологический процесс изготовления П2Л-ячейки, рас-
  считаны профили распределения примесей по глубине. Технологический процесс изготовле-
  ния разработан с учетом того, что нагрузочный p-канальный транзистор должен быть
  выполнен в изолированном кармане по технологии полной диэлектрической изоляции. При-
  ведены технологические режимы изготовления П2Л-ячейки. Предлагаемый конструктивно-
  технологический вариант П2Л-ячейки может быть рекомендован для создания СБИС с
  низкой потребляемой мощностью

• ИНЖЕКЦИОННО-ПОЛЕВАЯ СТРУКТУРА, ВЫПОЛНЕННАЯ ДВОЙНОЙ ДИФФУЗИЕЙ ПРИМЕСЕЙ

  П.Г. Грицаенко

  2023-06-07

  Аннотация ▼

  В 80-е годы прошлого столетия в качестве элементной базы широко применялась инте-
  гральная инжекционная логика (И2Л). Несколько позднее в развитие И2Л для построения СБИС
  появилась инжекционно-полевая логика (ИПЛ). Оба элементных базиса близки по степени ин-
  теграции на кристалле. Увеличения степени интеграции в СБИС можно достигнуть с исполь-
  зованием самосовмещения областей, при котором введение примесей разного типа осуществ-
  ляется с использованием одной границы маскирующего материала. В данной работе этот
  принцип используется для создания вертикального канала ключевого полевого транзистора
  ИПЛ-логики. В эпитаксиальной пленке p-типа, нанесенной на подложку n+-типа, последова-
  тельно создаются сначала область n-типа с глубиной большей толщины эпитаксиальной плен-
  ки, а затем в то же окно выполняется диффузия примеси с созданием области p-типа. Про-
  межуток между этими областями n-типа является каналом формируемого полевого
  транзистора. Далее создается мелкая область n+-типа, перекрывающая канал, которая
  является областью стока ключевого полевого транзистора с вертикальным каналом,
  диффузионная область p-типа является затвором, а однородно легированная область
  эпитаксиальной пленки выполняет функцию инжектора. Разветвление по выходу в даннойИПЛ-структуре обеспечивается путем размещения нескольких стоков по периметру кана-
  ла. Благодаря такой геометрии, структура обладает большей воспроизводимостью пара-
  метров по сравнению с основной конструкцией ИПЛ. Рассмотрены топологические вари-
  анты выполнения ИПЛ-ячейки и схем на ее основе: схемы 6 ИЛИ-НЕ и Dt-триггера. Пред-
  лагаемый конструктивно-технологический вариант ИПЛ-ячейки может быть рекомендо-
  ван для создания СБИС высокой степени интеграции.