Найти

Результаты поиска

• SIGЕ BICMOS ВЫХОДНЫЕ КАСКАДЫ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ ОПЕРАЦИОННЫХ УСИЛИТЕЛЕЙ

  А.А. Жук , Д. В. Клейменкин , Н.Н. Прокопенко

  143-159

  2025-11-10

  Аннотация ▼

  Разработка и проектирование кремний-германиевых (SiGe) аналоговых функциональных узлов (операционных усилителей, выходных каскадов, и др.) является одной из актуальных задач в современной микроэлектронике. Применение совмещенного технологического процесса SiGe BiCMOS позволяет объединять в единой интегральной схеме преимущества комплементарных КМОП-транзисторов (низкое энергопотребление и высокая плотность интеграции) и биполярных транзисторов с гетеропереходом (HBT) n-p-n типа (способность работать на высоких частотах, низкое энергопотребление и, как следствие, малое собственное тепловыделение, большой коэффициент усиления, высокое быстродействие, повышенная надежность, относительно низкая стоимость). Для создания микромощной аналоговой компонентной базы, работающей при воздействии высоких температур (до + 250 градусов цельсия), необходима разработка специальных SiGe BiCMOS схемотехнических решений, учитывающих ограничения технологического процесса на использование определенных видов транзисторов. Исследуется 4 модификации буферных усилителей для применения в качестве выходных каскадов операционных усилителей, которые ориентированы на SiGe BiCMOS технологический процесс. Разработана программа каталогизации и визуализации рассмотренных схем, которые отличаются друг от друга величинами входных и выходных сопротивлений, статическим токопотреблением, схемотехникой цепей установления статического режима, максимальными амплитудами положительного и отрицательного выходных напряжений и т.п. Приведены примеры компьютерного моделирования статических режимов и амплитудных характеристик в среде проектирования электроники и микроэлектроники Cadence при двух температурах + 27 ^oC и + 250 ^oC. Предлагаемые схемотехнические решения рекомендуются для практического использования в микроэлектронных устройствах, работающих в условиях повышенных температур

• ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕМПЕРАТУРНО-КОНЦЕНТРАЦИОННЫХ РЕЖИМОВ АНИЗОТРОПНОГО ЖИДКОСТНОГО ТРАВЛЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ

  С.В. Малохатко , Д.А. Бакшевников , Е.Ю. Гусев

  2021-08-11

  Аннотация ▼

  Основным материалом большинства механических сенсоров является кремний. Для
  формирования кремниевых структур используют методы объемной микрообработки –
  глубокое травление подложки. Для формирования структур, к которым предъявляются
  высокие требования по точности размеров и воспроизводимости, традиционно применя-
  ют анизотропное жидкостное травление. В качестве травителя при этом используют
  водный раствор щелочи. Определение оптимального режима по концентрации и темпера-
  туре раствора позволит получить относительно однородную, гладкую поверхность при
  высокой скорости травления. В работе проведено экспериментальное исследование влия-
  ния концентрации (20-40%) и температуры (60–80°С) водного раствора KOH на скорость
  травления монокристаллического кремния, а также морфологию поверхности в условиях
  длительного процесса травления. Значения скорости травления в 20%, 30% и 40% раство-
  ре для выбранного температурного диапазона составили 0,68-2,0 мкм/мин,
  0,77–2,4 мкм/мин и 0,7–1,9 мкм/мин, соответственно. Проведен анализ морфологии по-
  верхности кремния на глубине 270 мкм. Установлено, что при концентрации раствора
  КОН 20% и 80°С формируется развитая морфология поверхности с шероховатостью –
  400 нм; понижение температуры раствора позволяет получить более ровную поверхность
  с остаточной шероховатостью ~ 340 нм. При концентрации раствора КОН 30% поверх-
  ность более однородна c шероховатостью ~ 100 нм; изменение температуры от 60 до
  80 °С практически не оказывает влияние на ее морфологию. При концентрации раствора
  КОН 40% и 80°С исходный рельеф поверхности травления достаточно развит ~ 340 нм, а
  снижение температуры раствора до 60°С позволяет свести его до состояния, характер-
  ного условию травления при 30% и температуре 80°С.

• АЛГОРИТМ ТЕМПЕРАТУРНОЙ КОРРЕКЦИИ ВИБРАЦИОННЫХ ПЛОТНОМЕРОВ

  О.В. Зацерклянный

  2021-02-13

  Аннотация ▼

  Рассматривается дополнительная температурная погрешность вибрационных
  плотномеров жидкостей и газов, а именно проблема влияния изменения температуры
  среды на частоту колебаний вибропреобразователей плотности. Описывается принцип
  действия и преимущества вибрационных плотномеров. Приводится анализ и описание су-
  ществующих алгоритмов вычисления плотности и активной термокомпенсации, а также
  их недостатки. Указывается на серьёзные ограничения температурного диапазона калиб-
  ровки существующих методов, связанные с обязательным применением дистиллированной
  воды. Опираясь на проведённое ранее моделирование вибропреобразователя и на выявлен-
  ную основную роль температурных свойств модуля упругости металла, предложен новый
  алгоритм термокомпенсации без применения жидкостей-компараторов. Приводятся пре-
  имущества нового алгоритма, связанные с использованием вакуума в качестве среды, ок-
  ружающей вибропреобразователь. В качестве основного преимущества приводится зна-
  чительное расширение калибруемого температурного диапазона. Предполагается воз-
  можность применения алгоритма для калибровки плотномеров при экстремально низких и
  высоких температурах. Приведены формулы вычисления значения периода колебаний пре-
  образователя, с учётом температурных изменений - термокомпенсированного периода.
  Описаны преимущества применения в качестве градуировочной функции полинома второго
  порядка с нулевым линейным членом. Подробно описаны методики проведения эксперимен-
  тов, виды оборудования и средств измерений. Представлены полученные эксперименталь-
  ные данные для вибропреобразователей из трёх разных металлов. Проведён анализ полу-
  ченных данных и сделан вывод о целесообразности применения предложенного алгоритма
  термокомпенсации вибропреобразователей плотности жидкостей и газов.