Найти

Результаты поиска

• ИССЛЕДОВАНИЕ МАСКИРУЮЩИХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК ОКСИДА КРЕМНИЯ ДЛЯ СОЗДАНИЯ КРЕМНИЕВЫХ МЕМБРАН МЕТОДОМ ЖИДКОСТНОГО ТРАВЛЕНИЯ

  С. В. Малохатко, Е.Ю. Гусев

  2021-02-13

  Аннотация ▼

  Микроэлектромеханические датчики мембранного типа изготавливаются методами
  поверхностной и объемной микрообработки. В последнем случае мембраны получают пу-
  тем глубокого анизотропного травления монокристаллического кремниевого слоя или под-
  ложки до толщин 20–50 мкм. При этом используются как сухие, так и жидкостным спо-
  собы травления. Преимуществом жидкостного травления является простота контроля
  латеральных размеров мембран и высокая селективность. Высокая селективность травле-
  ния может быть достигнута за счет выбора подходящего состава травящего раствора,
  материала защитного покрытия и технологии его получения. В работе проведено экспери-
  ментальное исследование защитных свойств пленок оксида кремния, полученных методами
  термического окисления, плазмохимического осаждения, а также комбинированного по-
  крытия из этих пленок в условиях жидкостного травления монокристаллического кремния
  в 30%-ном водном растворе гидроксида калия при температуре 80°С. Селективность
  травления, остаточная толщина, шероховатость и поверхностная концентрация локаль-
  ных дефектов рассчитывались по данным стилусной профилометрии, оптической интер-
  ферометрии и микроскопии. Установлено, что скорости и селективности травления термического оксида и плазмохимического оксида после быстрого термического отжига дос-
  таточно близки – 6,7 нм/мин, 1:338 и 7 нм/мин, 1:372, соответственно. Шероховатость
  поверхности оксидных пленок в большей степени возрастала при травлении пленок терми-
  ческого оксида, а также плазменного оксида в составе композитного покрытия. Средне-
  квадратичное значение остаточной шероховатости 1-2 нм. В пленках обнаружены ло-
  кальные дефекты типа «протравов» с концентрацией от 0,1–0,2 мм-2. Установлено, что
  использование 1 мкм плазменного слоя оксида в комбинированном покрытии позволяет
  предотвратить травление термического оксида, однако для исключения локальных дефек-
  тов его толщина должна быть увеличена до 1,5–2,0 мкм; пленка термически стабилизиро-
  ванного плазменного оксида, толщиной от 2,0 мкм также может рассматриваться в ка-
  честве эффективного защитного покрытия для проведения глубокого жидкостного трав-
  ления кремния.

• КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ АВИАЦИОННОГО ОПРЫСКИВАНИЯ ПРИ СОВЕРШЕНСТВОВАНИИ ТЕХНОЛОГИИ АВИАЦИОННО-ХИМИЧЕСКИХ РАБОТ

  В. П. Асовский , А.С. Кузьменко

  2021-12-24

  Аннотация ▼

  Рассмотрены отдельные практические вопросы решения задач совершенствования
  технологии авиационно-химических работ с использованием методов компьютерного модели-
  рования его процессов, в частности на нетрадиционных режимах авиационного опрыскивания.
  Эти режимы характерны для обработок участков с препятствиями на границах, когда внесе-
  ние рабочих жидкостей производится при снижении воздушного судна в заходе на производст-
  венный проход над участком на требуемой высоте полета и наборе высоты после его оконча-
  ния. Проведенные расчетно-теоретические исследования на примере самолета-биплана Ан-2 с
  использованием разработанных и апробированных ранее многофакторных программных
  средств моделирования процессов формирования вихревого следа самолета и осаждения в нем
  характерного для авиационного опрыскивания спектра капель рабочих жидкостей показали,
  что использование нетрадиционных технологических режимов обработок способно сущест-
  венно повысить производительность, безопасность и интегральную эффективность авиаци-
  онно-химических работ и мероприятий химизации сельскохозяйственного производства в це-
  лом. В частности, показано, что для повышения эффективности авиационного опрыскивания
  участков, ограниченных препятствиями, технически возможно и экономически целесообразно
  использовать схему проведения работ, предусматривающую начало и окончание обработки
  таких участков на этапе снижения и набора высоты при удалениях от препятствий, соответ-
  ствующих 1-2 с полета воздушного судна (для самолета Ан-2 на удалениях 50–150 м при высоте
  полета до 20 м). Такая схема обеспечивает рост производительности авиационного опрыски-
  вания до 10–15 %, уменьшение себестоимости обработок на 3–5 % и увеличения экономической
  эффективности на 2–3 % при росте их суммарного эффекта на 6–8 %.