Статья

Название статьи ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ НА ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ СОСТАВА SiO2ZrOx
Автор Д.В. Сергиенко, В.В. Петров, Т.Н. Мясоедова, Н.К. Плуготаренко
Рубрика РАЗДЕЛ V. МЕТОДЫ ОЦЕНКИ ПОЖАРНОЙ ОПАСНОСТИ ПОЛИМЕРОВ
Месяц, год 08, 2013
Индекс УДК 539.232:546.831
DOI
Аннотация Исследованы параметры морфологии поверхности и электрофизические характеристики тонкопленочных образцов состава SiO2ZrOx. Показано, что при увеличении доли атомов циркония в исходном растворе величина среднеквадратичной шероховатости, оцененная с помощью программы Image Analysis, увеличивается. Измерены величины поверхностных сопротивлений (R) образцов материала. Установлено, что при увеличении шероховатости поверхности материала происходит уменьшение значений поверхностного сопротивления с 500 до 50 кОм и увеличение коэффициента газовой чувствительности. Разброс значений фрактальной размерности поверхности, оцененной в программе Gwyddion, находится в диапазоне 1,97–2,47. Интерпретация дробной размерности заключается в том, что исследуемые поверхности пленок хотя и близки к двумерной (Df = 2), но обладают также и некоторыми свойствами трехмерности. Увеличение шероховатости не ведет к увеличению фрактальной размерности.

Скачать в PDF

Ключевые слова Атомно-силовая микроскопия; морфология поверхности; газочувствительный материал.
Библиографический список 1. Рембеза С.И., Кошелева Н.Н., Рембеза Е.С., Свистова Т.В., Шматова Ю.В., Gang Xu. Электрофизические и газочувствительные свойства полупроводниковых нанострукту-
рированных плёнок SnO2: ZrO2 // Физика и техника полупроводников. – 2011. – Т. 45. – Вып. 5. – С. 612-616.
2. Efimenko А., Semenova Т. Gas Sensors of tne New Type on Basic of Anodic Films Zirconia // American Ceramic Society′s 100
th Annual Meeting and Exposition, Cincinnati, Ohio, May 3-5: Abstrac Book. – Cincinnati, 1998. – Р. 90-97.
3. Сергиенко Д.В., Кравченко Е.И., Назарова Т.Н., Петров В.В. Исследование физикохимических, электрофизических свойств и газочувствительных характеристик нанокомпозитных пленок состава SiO2ZrOx // Нано- и микросистемная техника. – 2012. – № 2. – С. 38-42.
4. Сергиенко Д.В., Петров В.В., Мясоедова Т.Н., Коробкова А.И. Разработка технологии
получения высокочувствительных сенсоров газов на основе оксида циркония для гибридных сенсорных систем // Инженерный вестник Дона. – 2012. – № 4/2.
5. Zhuiykov S. Electrochemistry of zirconia gas sensors. Printedy Taylor & Francis Group, LLC, 2008. – Р. 297.
6. Козик В.В., Борило Л.Н., Чернов Е.Б., Лыскова Е.А. Синтез и изучение свойств тонких пленок на основе двойных оксидов системы ZrO2–GeO2 // Конденсированные среды и
межфазные границы. – 2006. – Т. 8, № 2. – С. 117-121.
7. Плуготаренко Н.К., Петров В.В., Гапоненко Н.В., Милешко Л.П. Поверхностные свойства пленок нанокомпозитных материалов. – Таганрог: Изд-во ЮФУ, 2012. – 100 с.

Comments are closed.