Статья

Название статьи МЕТОДИКА ПРОЕКТИРОВАНИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ КОМПОНЕНТОВ НА ОСНОВЕ БИБЛИОТЕКИ МИКРОФРАГМЕНТОВ
Автор И.Е. Лысенко, О.А. Ежова, И.В. Куликова, Н.К. Приступчик
Рубрика РАЗДЕЛ III. НАНОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
Месяц, год 09, 2014
Индекс УДК 621.3.049.77
DOI
Аннотация Настоящая работа посвящена разработке методики проектирования микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений. Предлагаемая методика основана на использовании унифицированных структурно-топологических примитивов, разработанных авторами. Компоненты микроэлектромеханических систем характеризуются высокой сложностью проектирования, поскольку при их необходимо учитывать разнообразные физические эффекты, лежащие в основе их функционирования. Учитывая функциональную сложность компонентов данных микромеханических систем, для обеспечения сокращения времени проектирования используются различные методы автоматизации при проектировании, опирающихся на вычислительную базу. Предлагается данные микромеханические компоненты разбивать на элементы по функциональному признаку. Основное внимание обращено на методологию проектирования микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений на основе библиотеки микрофрагментов, разработанных под редактор топологии L-Edit системы автоматизированного проектирования Tanner EDA. Разработка структурно-топологических примитивов микрофрагментов выполнена с учетом технологических норм изготовления процесса поверхностной микрообработки MUMPs.

Скачать в PDF

Ключевые слова Микроэлектромеханическая система; гироскоп; акселерометр; конструкция; модель.
Библиографический список 1. Распопов В.Я. Микромеханические приборы. – Тула: Тульский государственный университет, 2007. – 400 с.
2. Тимошенков С.П., Кульчицкий А.П. Применение МЭМС-сенсоров в системах навигации и ориентации подвижных объектов // Нано- и микросистемная техника. – 2012. – № 6. – С. 51-56.
3. Лысенко И.Е. Интегральные микромеханические сенсоры угловых скоростей и линейных ускорений. – Таганрог: Изд-во ЮФУ, 2013. – 180 с.
4. Лысенко И.Е. Функционально интегрированные микро- и наномеханические сенсоры угловых скоростей и линейных ускорений. – Таганрог: Изд-во ЮФУ, 2013. – 167 с.
5. Lysenko I.E. Modeling of the micromachined angular rate and linear acceleration sensors LL-type with redirect of drive and sense axis // World Applied Sciences Journal. – 2013. – № 27(6). – P. 759-762.
6. Лысенко И.Е. Метод проектирования двухосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений RR-типа // Известия ЮФУ. Технические науки.
– 2011. – № 4 (117). – С. 234-236.
7. Лысенко И.Е., Ежова О.А. Критерии равенства собственных частот колебаний чувствительных элементов микромеханических гироскопов-акселерометров // Инженерный вестник Дона. – 2014. – № 2. – http://ivdon.ru/ru/magazine/archive/n2y2014/2475 (доступ
свободный).
8. Lysenko I.E. Modeling of two-axis micromechanical gyroscope-accelerometer // Proceeding of the International Conference “Micro- and nanoelectronics – 2012” (ICMNE-2012). – Moscow-Zvenigorod, Russia, 2012. – P. 3-31.

Comments are closed.