Article

Article title FOCUSED ION BEAMS AND PROBE NANOTECHNOLOGIES FOR MICRO- AND NANOSYSTEM HARDWARE
Authors B.G. Konoplev, O.A. Ageev
Section SECTION IV. INFORMATION TECHNOLOGIES
Month, Year 12, 2008 @en
Index UDC 001.89: 539.2 (621.382.132)
DOI
Abstract Work task is representation of tasks and capabilities of SFU scientific-educational centre “Nanotechnologies” in area of development and construction micro- and nanosystem hardware based on focused ion beams and probe nanotechnologies.

Download PDF

Keywords nanotechnology, focused ion beams, atomic forces microscopy, local anodic oxidation.
References 1. Мальцев П.П. Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам. Сборник статей. – М.: Техносфера, 2005. – 592 с.
2. Чаплыгин Ю.А. Нанотехнологии в электронике. – М.: Техносфера, 2005. – 448 с.
3. Лучинин В.В. Нанотехнологии: физика, процессы, диагностика, приборы. – М.: Физматлит, 2006. – 552 с.
4. Асеев А.Л. Нанотехнологии в полупроводниковой электронике. – Новосибирск: Изд-во СО РАН, 2004. – 368 с.
5. Неволин В.К. Зондовые нанотехнологии в электронике. – М.: Техносфера, 2006. – 160 с.

Comments are closed.