Статья

Название статьи ЭЛИОННЫЕ И ЗОНДОВЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ МИКРО- И НАНОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ
Автор Б.Г. Коноплев, О.А. Агеев
Рубрика РАЗДЕЛ IV. ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Месяц, год 12, 2008
Индекс УДК 001.89: 539.2 (621.382.132)
DOI
Аннотация Целью работы является представление задач и возможностей научно-образовательного центра “Нанотехнологии” ЮФУ в области разработки и изготовления элементов приборов микро - и наносистемной техники на основе элионные и зондовых нанотехнологий.

Скачать в PDF

Ключевые слова нанотехнологии, фо-кусированные ионные пучки, атомно-силовая микроскопия, локальное анодное окисление.
Библиографический список 1. Мальцев П.П. Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам. Сборник статей. – М.: Техносфера, 2005. – 592 с.
2. Чаплыгин Ю.А. Нанотехнологии в электронике. – М.: Техносфера, 2005. – 448 с.
3. Лучинин В.В. Нанотехнологии: физика, процессы, диагностика, приборы. – М.: Физматлит, 2006. – 552 с.
4. Асеев А.Л. Нанотехнологии в полупроводниковой электронике. – Новосибирск: Изд-во СО РАН, 2004. – 368 с.
5. Неволин В.К. Зондовые нанотехнологии в электронике. – М.: Техносфера, 2006. – 160 с.

Comments are closed.