Статья

Название статьи ВЛИЯНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ПЛЕНОК НА ПАРАМЕТРЫ СЕНСОРОВ ГАЗА
Автор М.С. Александрова, Н.Ф. Копылова, В.В. Петров
Рубрика РАЗДЕЛ V. ТОЧНЫЕ И ЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИ
Месяц, год 01, 2009
Индекс УДК 539.217.5:546.28
DOI
Аннотация В статье исследованы электрофизические свойства и газочувствительные характеристики пленок состава SiO2(SnOxCuOy), полученных двумя способами по золь-гель технологии. В первом случае в золь-гель раствор вводили наноразмерный CuO, во втором случае - Cu(NO3)2. Пленки, полученные по второй технологии обладают лучшими газочувствительными характеристиками.

Скачать в PDF

Ключевые слова Газочувствительный материал; сенсор газа; золь-гель технология.
Библиографический список 1. Henrich V.E., Cox P.A. The surface science of metal oxides. Cambridge: University Press. – 1993. – 460 p.
2. Самсонов Г.В., Борисова А.Л., Жидкова Т.Г. и др. Физико-химические свойства окислов. Справочник. – М.: Металлургия. 1978. – 472 с.
3. Копылова Н.Ф., Петров В.В., Тарантеева Н.В., Александрова М.С. Исследование электрофизических свойств наноразмерных пленок SiO2(SnOxCuO), чувствительным к к оксидам азота // Материалы VII Межд. науч. конф. «Химия твердого тела и
современные микро- и нанотехнологии», (17-22 сентября 2007) - Кисловодск: СевКавГТУ, 2007. – С. 261-263.
4. Петров В.В. Автоматизированный стенд для калибровки сенсоров газов: тезисы докл. 1 Межд. науч.-техн. конф. «Сеносрная элекетроника и микросистемные технологии» (1-5 июня 2004г) - Украина, Одесса: «Астропринт», 2004. – С. 288-292.

Comments are closed.