Статья

Название статьи ИНТЕГРАЛЬНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ТУННЕЛЬНЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР НА ОСНОВЕ НАПРЯЖЕННЫХ СЛОЕВ GAAS/INAS
Автор Е.А. Рындин, Н.К. Приступчик
Рубрика РАЗДЕЛ III. ЭЛЕКТРОНИКА, ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
Месяц, год 01, 2009
Индекс УДК 621.3.049.77.001.2
DOI
Аннотация Описан принцип построения микромеханического туннельного акселерометра. Предложена конструкция, упрощенная модель самосборки сенсорного элемента, а также модель передачи движения.

Скачать в PDF

Ключевые слова Конструкция; микроэлектромеханические системы; сенсор; акселерометр.
Библиографический список 1. Бабаевский П.Г., Резниченко Г.М., Жуков А.А., Жукова С.А., Гринькин Е.А. Электромеханические преобразователи сенсорных микро- и наносистем: физические основы и масштабные эффекты. Часть 1. Чувствительные механические элементы и
актюаторы // Нано- и микросистемная техника. – 2008. – №11. – С. 32-44.
2. Распопов В.Я. Микромеханические приборы. – М.: Машиностроение. – 2007. – 400 с.
3. Коноплев Б. Г., Приступчик Н. К., Рындин Е. А. Автоэмиссионный акселерометр с тремя осями чувствительности // Нано- и микросистемная техника. – 2007. – №3. – С. 36–39.
4. Нанотехнологии в полупроводниковой электронике / Отв. ред. А. Л. Асеев. – Новосибирск: Издательство СО РАН, 2004. – 368 с.
5. Зозуля В.В., Мартыненко А.В., Лукин А.Н. Механика материалов. - Харьков: Изд-во Национ. ун-та внутр. дел, 2001. – 404 с.

Comments are closed.