Статья

Название статьи ТЕОРИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ СЕНСОРОВ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ И ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ LR-ТИПА
Автор И.Е. Лысенко
Рубрика РАЗДЕЛ III. ЭЛЕКТРОНИКА, ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
Месяц, год 01, 2009
Индекс УДК 621.3.049.77
DOI
Аннотация Описаны принцип функционирования и интегральная конструкция двухосевого микромеханического гироскопа-акселерометра с двумя осями чувствительности LR-типа. Предложено уравнение движения чувствительных элементов ММГА.

Скачать в PDF

Ключевые слова Метод; конструкция; микроэлектромеханические системы; сенсор; гироскоп; акселерометр.
Библиографический список 1. Распопов В.Я. Микромеханические приборы. – М.: Машиностроение.– 2007. – 400 с.
2. Palaniapan M. Integrated surface micromachined frame microgyroscopes.– University of California, Berkeley, 2002.– 168 p.
3. Clark W.A. Micromachined vibratory rate gyroscopes.– University of California, Berkeley, 1997. – 155 p.
4. Xie H. Gyroscope and micromirror design using vertical-axis CMOS-MEMS actuation and sensing.– Carnegie Mellon university, 2002.– 246 p.
5. Yazdi N., Ayazi F., Najafi K. Micromachined inertial sensors // Proceeding of the IEEE.– 1998.– vol.86, №8. – p. 1640-1659.
6. Зотов С.А., Тимошенков С.П., Чаплыгин Ю.А. Особенности динамики элементов микро- и наномеханики углового типа с электростатическим возбуждением // Российские нанотехнологии.– 2006.– №1-2. – С.233-239.
7. Коноплев Б.Г., Лысенко И.Е. Интегральный микромеханический гироскоп // Патент России №2300773. 2007. Бюл. №16.

Comments are closed.