Статья

Название статьи МЕТОД ПРОЕКТИРОВАНИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ СЕНСОРОВ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ И ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ LL-ТИПА
Автор И.Е. Лысенко
Рубрика РАЗДЕЛ III. ЭЛЕКТРОНИКА, ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
Месяц, год 01, 2009
Индекс УДК 621.3.049.77
DOI
Аннотация Описаны метод проектирования микромеханического гироскопа-акселерометра с двумя осями чувствительности LL-типа. Предложено уравнение движения чувствительных элементов ММГА.

Скачать в PDF

Ключевые слова Метод; проектирование; конструкция; микроэлектромеханические системы; сенсор; гироскоп; акселерометр.
Библиографический список 1. Распопов В.Я. Микромеханические приборы. – М.: Машиностроение. – 2007. – 400 с.
2. Palaniapan M. Integrated surface micromachined frame microgyroscopes. – University of California, Berkeley, 2002. – 168 p.
3. Clark W.A. Micromachined vibratory rate gyroscopes. – University of California, Berkeley, 1997. – 155 p.
4. Xie H. Gyroscope and micromirror design using vertical-axis CMOS-MEMS actuation and sensing. – Carnegie Mellon university, 2002. – 246 p.
5. Yazdi N., Ayazi F., Najafi K. Micromachined inertial sensors // Proceeding of the IEEE. – 1998.– vol.86, №8.– p. 1640-1659.
6. Балычев В.Н., Зотов С.А., Морозова Е.С., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П. Передаточные функции чувствительного элемента микромеханического вибрационного гироскопа LL-типа // Нано- и микросистемная техника.– 2007.– №9.– С. 32-34.
7. Коноплев Б.Г., Лысенко И.Е. Интегральный микромеханический гироскоп // Патент России №2266521, 2005. Бюл. №35.

Comments are closed.